100%国产自研，160×128（20480）个相位点的超高分辨率，实现波长范围8μm~14μm（中心波段10.6μm）的波前测量，可用于激光光束波前检测、自适应光学、光学系统校准、气体与等离子体密度测量、材料内部晶格/均匀性测量、超表面与超透镜波前测量等。
FIS4 FIR将随机编码四波衍射专利技术与红外相机相结合，于后端像面位置发生干涉，对光源相干性要求低，无需移相，普通成像系统即可实现干涉测量，具有超高抗振性能、超高稳定性，无需隔振即可实现nm级精度测量。
易于调节
如工业相机般
快捷使用
单光路，抗振性能好
无需隔振
普通木桌即可测量
测量
重复性优于
1/1000λ
可兼容
红外、紫外
可见光波段
搭配高速相机
可实现
超高帧率采样
一对一
指导
搭建光路
易于调节
如工业相机般
快捷使用
单光路，抗振性能好
无需隔振
普通木桌即可测量
测量
重复性优于
1/1000λ
可兼容
红外、紫外
可见光波段
搭配高速相机
可实现
超高帧率采样
一对一
指导
搭建光路
光学系统像差测量光路
光学系统像差测量示例
光学系统校准测量光路
光学系统校准测量示例
超表面波前测量光路
超表面波前测量示例
材料内部密度分布测量光路
材料内部晶格分布测量示例
超透镜波前测量光路
超表面波前测量示例
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光源类型 |
连续激光、脉冲激光、LED、卤素灯等宽光谱光源 |
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波长范围 |
8μm~14μm（中心波段10.6μm） |
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靶面尺寸 |
9.6mm×7.68mm |
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空间分辨率 |
60μm |
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相位输出分辨率 |
160×128 |
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绝 对 精度 |
70nmRMS |
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相位分辨率 |
≤15nmRMS |
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动态范围 |
≥260μm |
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采样速率 |
40fps |
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实时处理速率 |
10Hz（全分辨率下） |
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接口类型 |
GIGE |
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尺寸 |
75mmx75mmx66.1mm |
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重量 |
约615g |
|
制冷方式 |
无 |
◆ 友好的软件交互界面，显示三维形貌、等高图
◆ 输出PV、RMS、POW、PSF、OTF、MTF等数值
◆ 可自由圆形、方形选取测量区域，选取后可自由调整
◆ 可实时动态采集显示，便于动态观察三维波形变化
◆ 可通过拉线测量高度值曲线、计算区域粗糙度等数值参数
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