FIS4-HR-W：国产自研高分辨率波前传感器的技术突围之路

在半导体晶圆制造、高能激光器研发、超精密光学加工等领域，“测量”是决定“制造”上限的关键。然而，长期以来，高端波前测量技术（如哈特曼传感器）虽能满足部分需求，却面临：环境依赖性强、分辨率与动态范围的矛盾和核心技术的海外依赖的困境。浙江大学杨甬英教授团队深耕波前检测领域，带领团队历经近20年技术沉淀，推出了国产自研的FIS4-HR-W高分辨率波前传感器。

这款传感器不同于传统微透镜阵列（Shack-Hartmann）或需要参考镜的普通干涉仪，它核心突破在于随机编码混合光栅（REHG）技术——不同于传统微透镜阵列或需要参考镜的干涉仪，REHG通过单路被测波前自干涉即可成像，实现共路干涉，光路***稳定，抗振性能卓越。广泛应用于光束波前检测、自适应光学、平面面形测量、光学系统校准、光学窗口片检测及表面粗糙度检测等场景。

FIS4-HR-W配套自研分析软件，主界面友好，实时动态采集并显示三维形貌与等高图，支持圆形或方形选区自由调整，拉线测量高度曲线及区域粗糙度；一键输出PV、RMS、POW、PSF、OTF、MTF等核心参数，具备64项Zernike像差拟合能力，无需额外光学软件即可完成从波前采集到成像质量评估的全流程分析。

在精密制造领域，测量能力决定制造上限。FIS4-HR-W高分辨率波前传感器凭借REHG技术的创新突破，将国产精密光学仪器的技术边界推进至新的高度——它不仅是一款仪器，更是精密制造领域自主可控战略的重要落子。